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    提供以下设备的升级服务:Matrix 105 | Gasonics Aura 1000 | Gasonics Aura 3010 | Gasonics L 3510 | Branson/IPC 3000 | Branson/IPC 2000 | Tegal 901e | Tegal 903e | Lam AutoEtch 490 | Lam AutoEtch 590 | Lam AutoEtch 690 | Lam AutoEtch 790

    AccuSputter AW4450 溅射台
    制造商:Allwin21Corp.成色:全新晶圆尺寸:小样片~8英寸传片系统:手动上片,自动传送,带有Loadlock腔室阴极靶位:1-3个三角形靶位或者1-4个4~6英寸圆形靶位溅射方式:DC溅射,RF溅射;双极溅射,磁控溅射气路配置:根据客户需
    Perkin-Elmer 4400 溅射台
    制造商:Perkin-Elmer成色:全面翻新并升级晶圆尺寸:小样片~6英寸传片系统:手动上片,自动传送,带有Loadlock腔室阴极靶位:1-4个4~6英寸圆形靶位溅射方式:DC溅射,RF溅射;双极溅射,磁控溅射气路配置:1-3路气体,根据客户需
    Perkin-Elmer 4410 溅射台
    制造商:Perkin-Elmer成色:全面翻新并升级晶圆尺寸:小样片~8英寸传片系统:手动上片,自动传送,带有Loadlock腔室阴极靶位:1-3个三角形靶位溅射方式:DC溅射,RF溅射;双极溅射,磁控溅射气路配置:1-3路气体,根据客户需求配置
    Perkin-Elmer 4450 溅射台
    制造商:Perkin-Elmer成色:全面翻新并升级晶圆尺寸:小样片~8英寸传片系统:手动上片,自动传送,带有Loadlock腔室阴极靶位:1-3个三角形靶溅射方式:DC溅射,RF溅射;双极溅射,磁控溅射气路配置:根据客户需求配置MFC量程,最多
    Perkin-Elmer 4480 溅射台
    制造商:Perkin-Elmer成色:全面翻新并升级晶圆尺寸:4~6英寸传片系统:自动传片,带有Loadlock腔室阴极靶位:1-3个三角形靶位溅射方式:DC溅射,RF溅射;双极溅射,磁控溅射气路配置:1-3路气体,根据客户需求配置MFC量程,
     
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