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    Perkin-Elmer 4400 溅射台
    制造商:Perkin-Elmer成色:全面翻新并升级晶圆尺寸:小样片~6英寸传片系统:手动上片,自动传送,带有Loadlock腔室阴极靶位:1-4个4~6英寸圆形靶位溅射方式:DC溅射,RF溅
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    Perkin-Elmer 4410 溅射台
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    Perkin-Elmer 4450 溅射台
    制造商:Perkin-Elmer成色:全面翻新并升级晶圆尺寸:小样片~8英寸传片系统:手动上片,自动传送,带有Loadlock腔室阴极靶位:1-3个三角形靶溅射方式:DC溅射,RF溅射;双极
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    Perkin-Elmer 4480 溅射台
    制造商:Perkin-Elmer成色:全面翻新并升级晶圆尺寸:4~6英寸传片系统:自动传片,带有Loadlock腔室阴极靶位:1-3个三角形靶位溅射方式:DC溅射,RF溅射;双极溅射,磁控溅
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