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    Lam Rainbow 4520 等离子刻蚀机
     
    制造商: Lam Research
    成色:由Allwin21全面翻新
    晶圆尺寸: 4″/5″/6″/8″
    传片系统: 全自动, 原装机械传片系统
    等离子电源: 射频,400kHz
    类型: 晶圆水平放置,单片工艺,等离子刻蚀,反应离子刻蚀,独立机台
    刻蚀材料:二氧化硅
    工艺气体: 根据客户需求配置MFC量程,最多可配备8路
    Lam Rainbow 4520 等离子刻蚀机概述:
    Lam Rainbow 4520刻蚀机是全自动,单片等离子/反应离子刻蚀系统,适用6”或8”晶片,主要特点:上下电极驱动板,可调节电极间距,非接触式全自动调整晶片位置。独特的射频匹配网络位于上下电极,可编程调节等离子和反应离子刻蚀两种模式。通过电脑控制,可调手动或自动模式。

    Lam Rainbow 4520等离子刻蚀机典型工艺应用:
     
     
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