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    Lam AutoEtch 590 等离子刻蚀机
     
    制造商: Lam Research
    成色:由Allwin21全面翻新并升级
    晶圆尺寸: 4″/5″/6″
    传片系统: 全自动, 原装机械传片系统
    等离子电源: 射频,13.56MHz
    类型: 晶圆水平放置,单片工艺,等离子刻蚀,独立机台
    刻蚀材料:二氧化硅
    工艺气体: 根据客户需求配置MFC量程,最多可配备5路
     
     
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