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    Tegal 903e 等离子刻蚀机
     
    制造商:Tegal

    成色:由Allwin21全面翻新并升级

    晶圆尺寸3″/4″/5″/6″

    晶圆传输:全自动,原厂皮带-滑梭传片 或 Allwin21可靠的机械手传片系统

    等离子体电源:射频,13.56MHz

    类型:晶圆水平放置/单片工艺/等离子刻蚀/RIE/独立机台

    刻蚀材料:硅的氧化物,硅的氮化物

    气路配置:根据客户需求配置MFC量程,最多可配备4路

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